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Strumento di spruzzatura ionica JY-S100 (strumento di spruzzatura dell'oro)
Lo strumento di sputtering ionico JY-S100 è un piccolo sistema di rivestimento compatto del desktop, particolarmente adatto per il rivestimento di alt
Dettagli del prodotto
Lo strumento di sputtering ionico JY-S100 è un sistema compatto di rivestimento desktop, particolarmente adatto per il rivestimento di alta qualità dei campioni non conduttivi nell'imaging di microscopia elettronica di scansione.
Caratteristiche principali
Utilizzando una efficiente testa magnetron DC a bassa tensione per il processo di spruzzatura fine a stato freddo, la superficie del campione è evitata da essere danneggiata.
L'operazione è facile e veloce e i parametri controllati includono il rilascio di gas e il controllo dello scambio di gas argon.
Il controllo digitale della corrente del rivestimento dello spruzzo non è influenzato dalla pressione dell'aria nella camera del campione e può raggiungere la velocità costante del rivestimento e l'effetto del rivestimento di alta qualità.
Possono essere utilizzati materiali metallici multipli: Au, Au/Pd, Pt, Pt/Pd (Au target è standard) e la sostituzione del materiale target è veloce e conveniente.
Parametro tecnico
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Sistema di sputtering |
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| Dimensione del compartimento del campione | 120 x120mm |
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Materiale bersaglio |
AuObiettivo come standard,Pt opzionale, diametro 57mm x 01mmspessore |
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Supporto standard per campioni |
Può essere caricato12 individualeSEM Il supporto del campione ha una gamma regolabile in altezza di60mm |
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※ Fase di campionamento inclinata rotante (opzionale)） |
Velocità di rotazione:0~60rpmRegolazione continua, angolo di inclinazione:-90°~ 90° regolabile continuamente; Camera in acciaio inossidabile: diametro120mm Xalto75mm； Finestra di osservazione: diametro120mm Xalto45mm； Diametro standard della tavola rotante40mm, può essere posizionato4 Una tabella standard del campione, altre specifiche possono essere personalizzate; Dotato di un doppio dispositivo di bloccaggio, assicura che il campione non si allenta o cada quando ruota o inclina. |
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Corrente di sputtering |
Controllo del microprocessore, interblocco di sicurezza, regolabile, corrente5~30mAControllo digitale programmatico |
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Indicatori |
Vuoto:Atm-1*10-3mbarCorrente:0~99mA |
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Metodo di controllo |
Un controller a microprocessore con pulsanti "start" e "pausa" (1－999s) Evacuare automaticamente, sputare e rilasciare aria dopo l'arresto. |
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sistema di vuoto |
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velocità di pompaggio |
133L/MIN |
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mbar |
10-4 mbarlivello |
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rumore |
56dB |
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